三坐標測量機的發展歷經半個多世紀。它的出現是工業化發展的歷史必然。一方面是由于自動機床、數控機床等高效率加工的發展以及越來越多復雜形狀零件加工需要有快速可靠的測量設備與之配套；另一方面是由于電子技術、計算機技術、數控技術以及精密加工技術的發展為其提供了技術基礎。坐標測量機的出現使得測量儀器從手動方式向現代化自動測量的轉變成為可能。